应用案例
Si₃N₄–Al₂O₃ 集成波导垂直耦合器
Si₃N₄–Al₂O₃ 集成波导垂直耦合器是一种实现 Si₃N₄ 波导与 Al₂O₃:Er³⁺ 波导之间光信号垂直传输的关键器件,通过锥形绝热耦合结构将光从 Si₃N₄ 层高效转移至 Al₂O₃:Er³⁺ 层,在单片集成 Er 掺杂 Al₂O₃ 光放大器、多层光子集成等应用中具有重要价值。本案例基于参考文献 [1],首先利用本征模有限差分(FDE)求解器分析模式重叠,获取最佳横向偏移,随后利用本征模扩展(EME)求解器扫描锥形波导长度以优化耦合效率,最后利用时域有限差分(FDTD)求解器进行验证。仿真结果表明,在 1480–1620 nm 波长范围内,耦合效率优于 -0.3 dB。
2026-10-09 14:19:41详细内容











